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ＲＦプラズマを利用して窒化アルミニウム薄膜を作成しています。ＩＣ等の基盤であるシリコンウェハーに直接窒化アルミニウム膜を製膜する事で、高い放熱性を有するチップができると考えています。 |
| 作成したリチウム電池の充放電試験をしています。
リチウム酸化物を正極に用いた次世代のリチウムイオン電池です。 |
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ガスセンサのメカニズム解明のために燃焼生成ガスの分析を行っています。 この装置はガスマス （ガスクロ－マススペクトルメーター） と呼ばれる装置です。 直接分析対象ガスの質量が測定できるため、 非常に応用範囲が広く、 例えば、サリンの同定などにも使われたりします。 |
| バリスタ型センサの測定のために装置の改良を行っています。研究室の実験装置はほとんどが手作りです。
研究を進めていく上で、
「こんな測定をしてこんなデータが欲しい」と思ったら、
すぐに改良できる点がメリットです。 学生さんは手に職（？）をつけて、 研究室を巣立っていきます。 |
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常圧プラズマの発生テストを行っています。
常温で導電率の高いセラミックスを誘起体として使用すれば、マイクロ波を照射すると流通させているガスがプラズマ化します。このときガスが美しく輝きます。 |
| 常圧プラズマを用いた環境汚染ガスの分解実験をしています。プラズマのガスを非常に活性化させる特性を利用して、環境汚染物質の高効率な分解を行う研究を行っています。 |
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電気炉で各種セラミックスの合成を行っています。
当研究室は機能性セラミックスを主に研究しています。
セラミックスは主に、高温で焼結させて作成します。
そのため、写真のような電気炉が研究室にたくさんあります。 |
| 作成したガスセンサのガス感度を測定しています。
人間が多すぎてわざとらしいですが、 実際はパソコンが自動測定します。 当研究室では半導体型ガスセンサの研究をずっと続けてきました。 身近な例では、
家庭用のガス漏れ警報機の心臓部が 半導体ガスセンサです。 半導体ガスセンサは２０数年ほど前に開発されましたが、 ガス検知機構など未だに不明な点が多く 新たなガスセンサ開発のために ガス検知機構の解明も重要な研究テーマです。 |
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バリスタセンサの感度を測定しています。
当研究室が提案したバリスタ型の ガスセンサの実験装置です。 このセンサは、これまでの半導体型ガスセンサにない特徴を有しています。今後の応用が期待されます。 |
