| この装置はマイクロ波加熱装置です。この装置を利用して水熱合成法（Hydrothermal Synthesis）を行っています。水熱合成法は、高温・高圧下で水溶液を用いて材料を合成する手法です。この方法は、ナノ材料やセラミックスなど分野で広く利用されています。 |
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ワイヤボンディングを行っています。縦横1−2 mmほどの小さなチップに、電気を流すための細い金線を取り付ける作業です。非常に細かい作業なので顕微鏡を取り付けた専用の装置を使っています。 |
| ガスセンサのメカニズム解明のために、センサ表面へのガス吸着の分析を行っています。この装置は、FT‑IR（フーリエ変換赤外分光光度計）と呼ばれる装置です。赤外線を利用して、試料と光の相互作用を測定することで、試料固有の分子振動や回転情報を得ることができます。
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紫外線照射下で半導体ガスセンサのガス感度を測定しています。
通常の半導体ガスセンサは数百度以上の高温で作動するものがほとんどですが、紫外線を照射することで室温での作動が可能になります。しかし、現時点では問題点も多くあるため、新たなガスセンサの実現のために新規材料の開発や応答メカニズムの解明を行なっています。 |
| センサ測定時の流量を調整しています。流量を変えることで、湿度や対象のガス濃度を変化させて、半導体ガスセンサの特性を評価しています。 |
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低温でも一酸化炭素を検知することができる固体電解質ガスセンサのCO検知特性を調べています。現在使用している白金電極に金を混ぜることで更に応答が改善されると考えています。
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| 噴霧熱分解装置では超音波を照射して溶液を微細な粒子にして焼成します。細孔を有する多孔質な粉末を作製しています。 |
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ナフィオン (Nafion) を使った固体電解質ガスセンサのCO検知特性を調べています。この装置はポテンショスタットと呼ばれています。これは、作用極、対極、参照極の3種類のセルを制御して、電極の電位レベルを任意に制御するための装置です。この装置を使って、起電力応答特性、インピーダンス、サイクリックボルタンメトリーなどを測定しています。 |
| センサ素子に利用する陽極酸化膜の作製を行っています。この後、作製した多孔質酸化チタン上にスパッタリングにより貴金属薄膜を製膜しダイオード型のセンサを作製します。このダイオード型のセンサを用いたオイル劣化度の測定が研究テーマです。印可電圧や電解液の種類といった陽極酸化パラメータと応答値の関係を明確にしたいと考えています。 |
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マッフル炉を用いて、金属板や粉末を熱処理しています。時間、温度を設定して、決められた条件で熱処理を行うことができます。 |
| 固体電解質を用いたガスセンサのCO検知特性を評価するための装置です。500°C以上の高温で低濃度のCOに対するセンサ応答を測定できます。 |
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粉末の微細化のためにボールミル処理を行っています。遊星型ボールミル装置では、効率的に粉砕や混合を行うことができます。粉砕容器が回転台に取り付けられており、容器自体が回転しながら回転台も逆方向に回る遊星運動をすることにより、非常に強い衝撃力とせん断力が生まれ、短時間で微細化や均一な混合が可能です。 |
